KAJIAN SIFAT BAHAN LAPISAN TIPIS FEROMAGNETIK NixFe1-x HASIL DEPOSISI DENGAN TEKNIK EVAPORASI HAMPA
ABSTRAK: Telah dilakukan
kajian sifat bahan lapisan tipis feromagnetik NixFe1-x hasil deposisi dengan teknik evaporasi hampa. Kajian sifat bahan meliputi analisis komposisi bahan
menggunakan metode XRF, resistivitas bahan lapisan tipis pada suhu kamar, dan
transisi fase bahan lapisan tipis NixFe1-x.
Hasil analisis dengan metode XRF diketahui bahwa komposisi lapisan yang
terbentuk pada permukaan substrat relatif sama dengan komposisi bulk
material yang dievaporasikan. Pengukuran resistivitas dengan
metode probe empat
titik menunjukkan bahwa nilai resistivitas tergantung pada ketebalan dan
komposisi bahan, serta resistivitas yang diperoleh jauh lebih besar
dibandingkan dengan resistivitas bulk material.
Suhu transisi atau suhu Curie Tc yang diperoleh memperlihatkan
ketergantungannya terhadap komposisi bahan.
Penulis; Sudjatmoko
Kode Jurnal: jpkimiadd050059
