Studi Konduktivitas Listrik Film Tipis Ba0.25Sr0.75TiO3 Yang Didadah Ferium Oksida (BFST) Menggunakan Metode Chemical Solution Deposition
Abstrak: Telah dilakukan
penumbuhan film tipis
Ba0.25Sr0.75TiO3 (BST) murni dan
BST yang didadah
Ferium Oksida Fe2O3 (BFST) dengan variasi pendadah 5%, 10% dan 15% di
atas substrat Si(100) tipe-p dengan menggunakan
metode chemical solution
deposition (CSD) dengan teknik
spin coating pada kecepatan putar 3000 rpm selama 30 detik.
Film Tipis BST dibuat dengan konsentrasi 1 M dan annealing pada suhu 850°C untuk
Substrat Si. Film
tipis diatas substrat
silicon tipe-p dilakukan karakterisasi
ketebalan menggunakan metode volumetric dan karakterisasi konduktansi dengan menggunakan LCR meter. Dari hasil karakterisasi
ketebalan menunjukkan ketebalan
meningkat dengan banyaknya
pendadah ferium oksida yang
diberikan. Nilai konduktivitas
film tipis BST
dan BFST berada
pada rentang material semikonduktor dan
didapatkan nilai konduktivitas
semakin meningkat apabila
semakin tinggi ntensitas cahaya lampu
yang digunakan, sebaliknya
nilai resistansi akan
semakin menurun apabila
intensitas cahaya dinaikkan. Penambahan
pendadah ferium oksida
akan meningkatkan nilai
konduktivitas listrik film tipis
BST dan BFST.
Penulis: Irzaman, R
Erviansyah, H. Syafutra, A Maddu, dan Siswadi
Kode Jurnal: jpfisikadd100043
