PEMBUATAN SENSOR GAS HIDROGEN BERBASIS FILM TIPIS GAN DENGAN TEKNIK SOL GEL SPIN COATING UNTUK KOMPONEN PADA SISTEM PENDETEKSI KEBOCORAN GAS
ABSTRACT: Penelitian ini
bertujuan untuk membuat sensor gas dengan sensitivitas baik, dipergunakan
sebagai komponen dalam sistem pendeteksi kebocoran gas hidrogen. Bahan dasar
sensor berbahan  film tipis semikonduktor Gallium Nitrida (GaN) yang
ditumbuhkan di atas substrat sapphire (Al2O3) menggunakan teknik sol gel spin
coating. Parameter penumbuhan film tipis temperatur penumbuhan 8500 C, laju
spinner 1000 rpm, molaritas Ga2O3 1,33 M dan laju aliran gas nitrogen 100 sccm.
 Hasil pengujian sifat listrik dalam lingkungan gas hidrogen ternyata
resistansi listrik sensor gas menurun secara tajam dari 1,5 x 10-2 Ohm.cm
menjadi 7 x 10-3 Ohm.cm bila laju aliran gas diperbesar dari 20 sccm hingga 150
sccm. Pengujian sensitivitas sensor gas dilakukan dalam lingkungan gas hidrogen
dan gas nitrogen. Hasil pengujian sensor gas dalam lingkungan gas hidrogen
memiliki sensitivitas sekitar 60 % sedangkan dalam lingkungan gas nitrogen
sekitar 50 % laju aliran gas 100 sccm. Tingkat sensitivitas sensor gas dalam
lingkungan gas hidrogen lebih tinggi dibandingkan dalam lingkungan gas
nitrogen.
KEYWORDS: Hydrogen Gas Sensor;
GaN film; spin coating sol ge techniques
Penulis: D. Rusdiana
Kode Jurnal: jppendidikandd130154
