Teknologi Proses Produksi Sensor Cahaya untuk Pengembangan Robotik Berbasis Teknologi Lapisan Tipis Bahan Ferroelektrik Barium Stronsium Titanat (Ba0,55Sr0,45 TiO3)
Abstrak: Lapisan film tipis
ferroelectric telah digunakan untuk aplikasi dalam medan elektronik dan listrik
optik. Barium Strontium Titanate (BST) adalah material ferroelectric yang
sangat atraktif dan menjadi pusat perhatian berkaitan dengan beberapa
keuntungan diantaranya: rugi-rugi optik yang rendah, konstanta dielektrik
rendah, dan kapasitas penyimpanan muatan yang tinggi. Tujuan dari penelitian
ini adalah untuk mendapatkan sifat-sifat optik dan susunan kristal dari
thin-film Ba 0,55 Sr 0.45 Tio 3 (BST)1 M. Annealing time 15 jam pada temperatur
750°C dan 775 o C pada substrat silicon tipe-p dengan menggunakan metode
Chemical Solution Decomposition (CSD) yang diikuti oleh proses spin coating
pada 3000 rpm selama 30 detik. Pengujian sifat-sifat optik termasuk analisistransmitansi
dan absorbansi, menunjukkan bahwa peningkatan suhu annealing dapat memperbaiki sifat
absorbansi dan celah energi dari BST. Celah energi yang diperoleh dengan
menggunakan plot tauc adalah 3.05 eV untuk temperatur annealing 750° C dan
3,225 eV untuk temperatur annealing 775 o C. Susunan kristal dengan difraksi
X-Ray (XRD) menunjukkan bahwa perbedaan temperatur annealing menyebabkan
pergeseran sudut difraksi. Struktur pseudo tetragonal dari Ba0, 55 Sr0.45Tio3
menjadi tetragonal (c / a <1) dan struktur kristal memiliki distribusi
orientasi kristal.
Keywords: optic properties,
thin film, Ba x Sr x-1 Ti0 3 , absorbance, energy gap, chemical solution decomposition (CSD)
Penulis: Faanzir dan Umar
Kode Jurnal: jptlisetrodd130745
