The Effect of Pre-annealing Temperature on Structural Characteristics of ZnO Thin Films Deposited by Sol-Gel Method
Abstract: Pengaruh temperature
pre-annealing terhadap struktur lapisan tipis ZnO yang dideposisi dengan metode
Sol-Gel (spin coating) telah diteliti. Lapisan tipis ZnO dideposisi di atas
substrat kaca preparat berukuran 2 cm x 2 cm. Pembuatan prekursor dilakukan
dengan melarutkan ZnAc dengan pelarut etanol dan dietilene glikol (DEG). Proses
deposisi precursor di atas substrat dilakukan dengan cara penetesan, kemudian
diputar selama 20 detik dengan menggunakan spinner. Proses pre-annealing
dilakukan selama 1 jam, dengan variasi temperatur 1500C, 2000C, dan 2500C.
Selanjutnya dilakukan proses annealing pada temperatur 6000C selama 1 jam. Struktur
mikro dan topografi permukaan lapisan tipis ZnO diuji masing-masing dengan
menggunakan XRD dan AFM. Hasil penelitian menunjukkan bahwa lapisan tipis ZnO
yang ditumbuhkan memiliki struktur heksagonal dengan parameter kisi a = 3,252 b
= 3,253 c = 5,209 (c/a = 1,601). Temperatur pre-annealing mempengaruhi struktur
mikro dan topografi permukaan lapisan tipis ZnO.
Penulis: Mursal, Evi Yufita
Kode Jurnal: jpfisikadd160568
