SIFAT OPTIK, STRUKTUR KRISTAL DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT KACA SEBAGAI BAHAN TCO
ABSTRAK: Telah dilakukan
karakterisasi sifat optik, struktur kristal dan struktur mikro lapisan tipis ZnO:Al
hasil deposisi pada substrat kaca sebagai bahan Transparent Conducting Oxide
(TCO) untuk sel surya dengan metode DC sputtering. Penelitian ini bertujuan untuk memperoleh
hasil lapisan tipis ZnO:Al yang dapat digunakan sebagai bahan TCO untuk sel
surya. Parameter sputtering optimum
diperoleh pada kondisi suhu substrat 450 oC, tekanan gas 6 x 10-2 torr dan
waktu deposisi 1,5 jam.
Sifat optik (transmitansi) lapisan tipis
ZnO dan ZnO:Al
masing-masing (62 - 80) % dan (20 - 68) % pada posisi panjang gelombang
(400 - 800) nm. Struktur kristal lapisan
tipis ZnO dan ZnO:Al terorientasi pada bidang (002) masing-masing dengan sudut
hamburan 2θ = 34,810o dan 34,715o atau terorientasi pada arah
sumbu-c yang tegak lurus pada permukaan substrat. Hasil pengamatan struktur mikro dengan SEM, menunjukkan bahwa morfologi
permukaan berbentuk butiran-butiran kecil yang terdistribusi cukup homogen dan
mempunyai ketebalan sekitar 1,5 µm untuk lapisan tipis ZnO, sedangkan untuk
lapisan tipis ZnO:Al ketebalannya sekitar 1,0 µm.
Penulis: Wirjoadi, Bambang
Siswanto
Kode Jurnal: jpkimiadd080187
