TEKNOLOGI PROSES PEMBUATAN DIVAIS SENSOR GAS NO2 DENGAN LAPISAN AKTIF In2O3
ABSTRAK: Dalam tulisan
ini dibahas perancangan
dan fabrikasi sensor
arrays gas NO2 berbasis
metal oksida dengan
teknologi thick film.
Sensor yang dirancang
terdiri dari komponen-komponen penyusun,
yaitu: heater (pemanas),
elektroda (interdigital fingers),dan lapisan
sensitif dari bahan
In2O3. Sensor ini
dibuat multilayers, komponen pemanas dan
dua buah elektroda
telah dirancang dalam
satu permukaan dengan mempertimbangkan aspek
miniaturisasi, distribusi panas, dan
konsumsi daya dari
divais sensor. Sedangkan proses
pembuatan pemanas dan
elektroda dilakukan di
atas substrat alumina (Al2O3)
dengan pasta silver/perak
(Ag). Lapisan In2O3
memperlihatkan adanya perubahan resistansi
ketika dilewatkan gas
NO2. Hal itu
menunjukkan bahwa komponen penyusun sensor ini memiliki potensi
untuk digunakan dalam mendeteksi gas NO2.
Penulis: Slamet Widodo
Kode Jurnal: jpkimiadd140341
