Model Sheath Dinamis Tanpa Tumbukan Plasma Multispesies dengan Memperhitungkan Keadaan Muatan Ganda dan Tegangan Realistis
Abstrak: Telah dipelajari
sebuah model sheath dinamis plasma multispesies tanpa tumbukan untuk studi
Plasma Immersion Ion Implantation (PIII). Model ditentukan berdasarkan pada
massa efektip, yang merupakan fungsi dari komposisi spesies, massa dan keadaan
muatan ion-ion spesies. Massa efektif digunakan untuk menentukan ekspansi
sheath, arus ion implan, doses implan dan komponen doses ion. Pulsa tegangan
yang digunakan lebih realistik, sesuai seperti keadaan yang ada didalam
eksperimen PIII. Akibat penggunaan pulsa tegangan realistis, gambaran fisis
dari ekspansi sheath dan rapat arus ion yang hampir spontan pada penggunaan
tegangan kotak, berubah menjadi ekspansi sheath dan rapat arus ion tak homogen
secara gradual.Hasil dari model ini dianalisis dengan menggunakan contoh plasma
Ar-He [Ar+, Ar++ dan He+].
Penulis: Yoyok Cahyono
Kode Jurnal: jpfisikadd060044
