Model Sheath Dinamis Tanpa Tumbukan Plasma Multispesies Bermuatan Tunggal untuk Studi Aplikasi Proses PIII
Abstrak: Telah dipelajari
sebuah model sheath dinamis plasma multispesies tanpa tumbukan untuk studi
Plasma Immersion Ion Implantation (PIII). Model ini ditentukan berdasarkan pada
massa efektif yang merupakan fungsi dari komposisi dan massa ion. Massa efektif
ini digunakan untuk menentukan ekspansi sheath dinamis, rapat arus ion implan
total, doses implan dan komponen doses ion implan. Hasil dari model ini
dianalisis dengan menggunakan contoh plasma Ar-He.Model sheath dinamis ini
dapat memberikan kemudahan untuk mengevaluasi proses PIII dan mendapatkan doses
implan yang benar untuk plasma dengan spesies-spesies ion yang berbeda.
Penulis: Yoyok Cahyono
Kode Jurnal: jpfisikadd060033
