THE EFFECT OF DEPOSITION TIME OF He-CH4 TO SURFACE ROUGHNESS ON AISI 410 STEEL SURFACE
ABSTRACT: Penelitian ini
bertujuan untuk mengetahui pengaruh waktu pendeposisian He-CH4 (helium-metana)
pada permukaan baja AISI 410 terhadap angka kekasaran permukaan. Proses
pendeposisian He-CH4 dapat dilakukan dengan plasma chemical vapor deposition
(plasma CVD). Campuran gas He-CH4 dideposisikan di permukaan baja AISI 410
menggunakan temperatur 300 °C dan tekanan 2 mbar. Variasi waktu pendeposisian
yaitu 1, 2, 3, 4, dan 5 jam. Perbandingan campuran gas He-CH4 adalah 76% He dan24%
CH4. Pengujian angka kekasaran permukaan menggunakan instrumen pengukur
kekasaran permukaan Surfcom 120A. Berdasarkan hasil pengujian angka kekasaran
permukaan didapatkan bahwa terjadi peningkatan angka kekasaran permukaan diawal
pendeposisian. Angka kekasaran raw materialsebesar 0,04 μm meningkat menjadi
0,1 μm setelah 2 jam pendeposisian. Penambahan waktupendeposisian setelah
melewati 4 jam menurunkan angka kekasaran menjadi 0,05 μm. Penambahan waktu
pendeposisian menyebabkan permukaan lapisan menjadi halus dan rata.
Author: Wahyu Anhar, Viktor
Malau, Tjipto Sujitno
Journal Code: jptmesingg160009